දර්ශන: 0 කර්තෘ: අඩවියේ සංස්කාරක කාලය ප්රකාශයට පත් කරන්න: 2021-05-24 ආරම්භය: අඩවිය
නල දැරූ සිලින්ඩරයක හෝ පයිප්පයක පාලන හැකිලීම සමඟ කටයුතු කිරීම සඳහා යොදා ගන්නා මෙවලම් සහ උපාය මාර්ග තුළ එය සම්පුර්ණ කරන ලද අයිතමයේ සංරචකයට සිසිල් කළ කාලය දක්වා උණුසුම් නිස්සාරණය කිරීම සඳහා භාවිතා කරන මෙවලම් සහ උපාය මාර්ග අඩංගු වේ.
හි මූලික ක්රමවේදයන් තුනක් තිබේ . නෙරපා හරින ද්රව්ය මත යැපෙන මෙවලම මත රඳා පවතී මෙම ක්රමවේදයන් ක්ෂුද්ර කාලීන සායනික කැතීටර්වල සිට පෞද්ගලික හා ව්යාපාර නළයට අනුවර්තනය කළ හැකි නල දක්වා සෑම දෙයකටම අදාළ කළ හැකිය.
සම්බන්ධතා මැනීම
මේ වගේ පයිප්ප සෑදීමේ යන්ත්රය පොලිඑතිලීන් සහ පොලිප්රොපිලීන් වැනි ද්රව්ය විශාල පෘෂ් beforment ජු ලිහිසිත්වයක් ඇති කරයි. ඇස්තමේන්තු කිරීම අමතන්න ක්රමාංකනය ලෙස හැඳින්වෙන උපකාරකයෙක් ගමන් කිරීම, එය පාලනය කිරීම සඳහා උණුසුම් නිස්සාරණය සමඟ සම්බන්ධ වී එහි ප්රමාණය අඩු වන විට එහි ප්රමාණය අඩු කිරීම ඇතුළත් වේ. සම්බන්ධතා මැනීම සඳහා භාවිතා කරන මෙවලම සාමාන්යයෙන් රික්ත සිසිලන ටැංකියක ගමන් මාර්ගයේ වේෆර් රවුම් ක්රමාංකනය හෝ අත්හදා බැලීමේ ක්රමාංකනයකින් සමන්විත වේ.
ස්පර්ශ නොවන මිනුම්
ස්පර්ශ නොවන නල සාඩම්බර යන්ත්රය මෘදු, පොලියුරේටේන් සහ තාපගත කිරීම් සහ තාප සංයෝග (TAPS) ඇතුළු ස්ලිටර් ද්රව්ය මෘදු ලෙස භාවිතා කරයි. රික්ත සිසිලන ටැංකියකට ගමන් කරමින් ඇති වීදුරුවලින් පිරුණු PTFE කවයක් හරහා ගමන් කරන බිංදු නිස්සාරණය කිරීම. කෙසේ වෙතත් මෙම සම්බන්ධී නොවන ක්රමාංකනය සිලින්ඩරය සමඟ අමිහිරි ලෙස විශාල සංසන්දනාත්මක බැවින් එය කිසි විටෙකත් සම්බන්ධ නොවේ. සලකා බැලූ සෑම දෙයක්ම, සිලින්ඩරය ආවරණය වන පරිදි අතිරේක කාමරය සිසිලන ජල ගංවතුරකින් පිරී ඇත්තේ සිසිලනරය ලබා ගන්නා අතර සිලින්ඩරය හරහා ගමන් කරන අතර රික්ත සිසිලන ටැංකියට සමත් වේ. ආශ් විරිපූර්ණ නොවන ක්රමාංකනය නම්යශීලී අයිරිස් සමඟ බැඳී ඇත. රික්ත සිසිලන ටැංකිය දක්වා ගමන් මාර්ගයේ පිහිටා ඇති, එය ටැංකියට හා මනෝ විද්යා ologists යින්ට ඇස්තමේන්තු කර ඇති බැවින් එය සිසිල් වන අතර ආලේප කරයි.
අඩ අභිජනන මැනීම
මේ වගේ නල සාඩම්බර යන්ත්රය යනු වඩාත් අසාමාන්යයි, නමුත් සැලකිය යුතු ක්රමවේදයකි. එක් හෝ වෙනත් ක්රමවේදයක් සමඟ පරිපූර්ණව නොගැලපෙන ද්රව්ය හා යෙදුම් සඳහා විවිධ සං compor ටීය සම්බන්ධතා ඇස්තමේන්තු කිරීම පිළිබඳ විවිධ සංරචක ඒකාබද්ධ කරන අසාමාන්ය ගොතන ලද මෙවලමක් එය භාවිතා කරයි.
යටින් ඇති ඇඳීම අර්ධ වශයෙන් භාගයක් සහ අර්ධ වේල්ෆෝවර් රවුම් සහිත අත් එක්රැස් කරයි. මෙම ආකාරයේ ක්රමාංකනය අර්ධ යාපයට හැකි පීවීසී වැනි ටැකි ද්රව්යයක් සඳහා යොදා ගත හැකි අතර එය සිසිලන ටැංකියේ සැලකිය යුතු රික්තයක් අවශ්ය වේ. සිසිලන ආරම්භක සිසිලනය ලබා දෙන අතරතුර ඉහළ රික්තයක් යටතේ සියුම් ද්රව්ය අත් කැලිබ්රේටෙහි අඩංගු වේ. එම අවස්ථාවේදී, අයිතමය කලින් පිරිසිදු කළ විට, වේෆර් කවයන් අමතර මැනීම සලකා බැලිය යුතු අතර එම කාලය තුළම සීමිත මතුපිට දැලකි.