ការមើល: 0 អ្នកនិពន្ធ: កម្មវិធីនិពន្ធវែបសាយត៍បោះពុម្ភម៉ោង: 2021-09-07 ប្រភពដើម: កន្លេង
ផលិតកម្មនិងការអនុវត្តអនាម័យ (ថ្នាក់អាហារ) បំពង់ដែកអ៊ីណុក
1 ។ ការវិភាគលើផ្ទៃនៃបំពង់បង្ហូរដែកអ៊ីណុក
ទាំងអេឡិចត្រូនិចអេឡិចត្រូនិច Spectroscopy (AES) និងវិធីសាស្រ្តកាំរស្មីអ៊ិចអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីវិភាគផ្ទៃដែកអ៊ីណុកដើម្បីកំណត់ភាពធន់ទ្រាំច្រោះនៃផ្នែកខាងក្នុងនិងខាងក្រៅនៃបំពង់បង្ហូរដែកអ៊ីណុក។ អង្កត់ផ្ចិតវិភាគនៃវិធីសាស្ត្រ AES គឺតូចណាស់ដែលអាចតិចជាង 20NM ហើយតួនាទីដំបូងរបស់វាគឺត្រូវបែងចែករវាងធាតុ។ ការវិភាគវិធីសាស្ត្រ XPS គឺប្រហែល10μmដែលសមស្របសម្រាប់ការបញ្ជាក់ពីគីមីវិទ្យាសរីរាង្គនៃធាតុផ្ទៃដែលនៅជាប់គ្នា។
ឧបករណ៍រាវរក AES និង XPS ត្រូវបានប្រើដើម្បីអនុវត្តម៉ាស៊ីនស្កេននៅលើផ្ទៃដីនិងប៉ូលា 316 ផ្លាកដែកអ៊ីណុកដែលត្រូវបានប៉ះពាល់នឹងខ្យល់។ វាត្រូវបានគេសន្និដ្ឋានថាជម្រៅសរុបធម្មតានៃការវិភាគផ្ទៃនៃបំពង់ដែកអ៊ីណុកគឺមាន 15nm ហើយស្រទាប់ព្យាបាលដោយអកម្មដែលពាក់ព័ន្ធត្រូវបានបង្ហាញ។ សមាសភាពភាពកម្រាស់និងសមត្ថភាពប្រឆាំងនឹងការច្រេះរបស់វា។ ល។
យោងទៅតាមនិយមន័យដែកថែបទាបមានក្រូមីញ៉ូមខ្ពស់និងមាននីកែលហើយខ្លះមានម៉ូលីដិម (ដូចជា 316L00CR17NI14MO2), ទីធ្លាទីតានីញ, ជាធម្មតាមានក្រូម៉ូសូម 10.5% ដែលមានភាពធន់ទ្រាំមិនត្រឹមត្រូវ។ ភាពធន់ទ្រាំនៃការច្រេះដែលជាលទ្ធផលនៃលក្ខណៈនៃការថែរក្សានៃស្រទាប់អកម្មអណ្តូងរ៉ែស្រទាប់អកម្មមានកម្រាស់ 3-5 ម។ មឬក្រាស់ដូចម៉ូលេគុល 15 ស្រទាប់ម៉ូលេគុល។ ស្រទាប់អកម្មត្រូវបានផលិតក្នុងកំឡុងពេលនៃប្រតិកម្មនៃការកាត់បន្ថយអុកស៊ីតកម្មនៃខ្យល់អាកាសខ្យល់ដែលក្នុងនោះក្រូមីញ៉ូមនិងដែកត្រូវបានកត់សុីតាមអាកាស។ ប្រសិនបើស្រទាប់អកម្មត្រូវបានខូចខាតស្រទាប់អកម្មថ្មីមួយនឹងត្រូវបានផលិតយ៉ាងឆាប់រហ័សឬគោលការណ៍នៃកោសិកា Galvanic នឹងត្រូវបានផលិតភ្លាមៗ។ ចានដែកអ៊ីណុកនឹងទទួលរងនូវការច្រេះបំផ្លាញយ៉ាងខ្លាំងនិងការច្រេះសង្កត់ធ្ងន់។ ភាពធន់ទ្រាំដែលច្រេះនៃស្រទាប់អកម្មគឺទាក់ទងទៅនឹងមាតិកាទឹកនៃសមាសធាតុដែលមាននៅក្នុងបន្ទះដែកអ៊ីណុក។ ឧទាហរណ៍ chromium ខ្ពស់នីកែលនិងម៉ូលីប៊ិនអាចបង្កើនភាពខុសគ្នានៃថាមពលដែលមានសក្តានុពលនៃស្រទាប់អកម្មនិងភាពធន់នៃការច្រេះនៃស្រទាប់អកម្ម។ វាក៏ទាក់ទងនឹងការព្យាបាលផ្ទៃដែកក្នុងបំពង់ដែកអ៊ីណុកនិងការអនុវត្តសារធាតុហ៊ីដឌីណា។
2 ស្ថានភាពសំណឹកលើផ្ទៃនៃបំពង់បង្ហូរដែកអ៊ីណុក
1 ។ ស្រទាប់នៃការព្យាបាលការរាប់អានលើផ្ទៃដែកអ៊ីណុកក្នុងសម្ភារៈដែលមានស៊ីអាយគឺងាយស្រួលណាស់ដែលត្រូវបានបំផ្លាញដោយសារតែសក្តានុពលអុកស៊ីតកម្មខ្ពស់របស់ស៊ីអ៊ី - ខ្យល់។ ស្រទាប់ដែលបានបោះពុម្ពនៃស្រទាប់អកម្មត្រូវបានធ្វើឱ្យខូចដោយដែកជាបន្តបន្ទាប់។ ក្នុងករណីជាច្រើនស្រទាប់អកម្មត្រូវបានបំផ្លាញតែផ្នែកនៃតំបន់អកម្មរបស់ទេ ?? ដែកអ៊ីណុក។ ផលប៉ះពាល់នៃការ etching គឺអាស្រ័យលើជំនាន់នៃរន្ធល្អ ៗ ឬ dents ។ រណ្តៅតូចមួយដែលមានរាងដូចរណ្តៅដែលមិនត្រូវបានរីករាលដាលជាប្រចាំនៅលើផ្ទៃនៃវត្ថុធាតុដើមត្រូវបានគេហៅថាការច្រេះធ្ងន់ធ្ងរ។ អត្រានៃការច្រេះចង្រិត recice កើនឡើងជាមួយនឹងការកើនឡើងសីតុណ្ហភាពនិងកើនឡើងជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃការផ្តោតអារម្មណ៍។ ដំណោះស្រាយគឺត្រូវប្រើដែកថែបអាំងតេរសមុទ្រកាបូនទាបឬកាបូនទាបទាប (ដូចជា 316 លីត្រ 304 លីត្រ)
2 នៅពេលសីតុណ្ហភាពកំដៅនិងល្បឿនកំដៅក្នុងកំឡុងពេលផលិតកម្មនិងការផ្សារដែកស្ថិតនៅក្នុងជួរសីតុណ្ហភាពប្រែប្រួលដែកអ៊ីណុក (ប្រហែល 425-815 អង្សាសេដែលមានព្រំប្រទល់ព្រំដែនដំបូងទៅនឹងក្រូមីញ៉ូមដើម្បីបង្កើតជា CRCR2-3C 6 ។ ក្នុងករណីនេះអត្រានៃការសាយភាយកាបូននៅអេវបានគឺធំជាងក្រូមីញ៉ូមហើយក្រូមីញ៉ូមមិនអាចទូទាត់សងសម្រាប់ក្រូមីញ៉ូមដែលបានបាត់បង់ដោយសារតែការបង្កើត carbide carbide នៅព្រំដែនគ្រីស្តាល់គ្រាប់ធញ្ញជាតិ។ ជាលទ្ធផលខ្លឹមសារក្រែវនៃព្រំប្រទល់នៃគ្រីស្តាល់គ្រាប់ធញ្ញជាតិកើនឡើងជាមួយនឹងក្រូម៉ូសូមខាមៀរវិភាគនិងកាត់បន្ថយនៅពេលដែលមានទំនាក់ទំនងជាមួយវត្ថុធាតុដើម etch ដូចជា CI- នៅក្នុងសម្ភារៈវានឹងបណ្តាលឱ្យមានការច្រេះថ្មដែលអាចសាកបានរបស់អាគុយបញ្ចូលថ្មខ្នាតតូច។ ការច្រេះគឺមានតែផ្ទៃនៃធញ្ញជាតិគ្រីស្តាល់ប៉ុណ្ណោះដែលបានចូលខាងក្នុងឱ្យបានយ៉ាងឆាប់រហ័សដើម្បីបង្កើតការច្រេះអ៊ីនធឺណេត។ បំពង់ដែកអ៊ីណុកខ្លាំងណាស់មានភាពលេចធ្លោក្នុងការផ្សារអគ្គិសនី។
3 ។ ស្ត្រេសស្នាមប្រេះស្នាមប្រេះ: វាជាផលប៉ះពាល់ដ៏ទូលំទូលាយនៃទិន្នន័យឋិតិវន្តស្ត្រេសនិងសំណឹកដែលបណ្តាលឱ្យស្នាមប្រេះនិងសម្ភារៈដែករីកដុះដាល។ បរិយាកាសធម្មជាតិដែលបណ្តាលឱ្យស្ត្រេសខូចការបង្ក្រាបនិងការបំផ្លិចបំផ្លាញជាធម្មតាមានភាពស្មុគស្មាញណាស់។ វាមិនត្រឹមតែស្ត្រេសដីដែលមានភាពតានតឹងប៉ុណ្ណោះទេប៉ុន្តែថែមទាំងស្ត្រេសដីនិងស្ត្រេសផ្ទៃក្នុងដែលបណ្តាលមកពីការផលិតផ្សារដែកឬពន្លកនិងកំហឹងក្នុងវត្ថុធាតុដើមដែក។
3 ។ ការជាប់ទាក់ទងគ្នារវាងការព្យាបាលលើផ្ទៃដែកខាងក្នុងនិងខាងក្រៅនិងធន់ទ្រាំនឹងការច្រេះនៃបំពង់បង្ហូរដែកអ៊ីណុក
ស្រទាប់ផ្ទៃខាងក្នុងនិងខាងក្រៅនៃបំពង់បង្ហូរដែកអ៊ីណុក (ច្រើនដូចជាការដុសខាត់គីមីការកិននិងប៉ូលា) មានស្រទាប់នៃការរាប់បញ្ចូលដ៏ល្អដែលមានភាពធន់ទ្រាំខ្លាំង។ ស្រទាប់ផ្ទៃខាងក្នុងនិងខាងក្រៅមានភាពរលូនខ្ពស់ហើយមានវិចិត្រសិល្បៈវត្ថុធាតុដើមតិចតួចដែលមានប្រយោជន៍ចំពោះភាពធន់ទ្រាំដែលច្រោះ។ ឧបករណ៍ផ្ទុករាវតិចដែលមានរដុបផ្ទៃខ្ពស់ ៗ ត្រូវបានរក្សាទុកក្នុងបំពង់ដែលកាន់តែល្អសម្រាប់ការលាងសំអាតជាពិសេសនៅក្នុងឧស្សាហកម្មឱសថ។
1 ចរន្តដើម្បីអនុវត្តការដុសខាត់គីមីដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហា។ នៅពេលនេះផ្ទៃខាងក្រៅនៃបំពង់កំពុងអនុវត្តដំណើរការទាំងមូលខុសគ្នាពីរនោះគឺការបំលែងនិងរលាយរបស់ស្រទាប់អកម្មអណ្តែតដែកអ៊ីណុក (រួមទាំង mucosa ក្រាស់) ។ នេះគឺដោយសារតែស្តង់ដារសម្រាប់ការរំលូតកូនកាត់និងចំណូលនៃការធ្វើឱ្យសកម្មនៃសេដ្ឋកិច្ចនិងការទទួលយកបាននៅខាងក្រៅស្រទាប់ផ្ទៃគឺខុសគ្នាហើយការកត់សុីអុកស៊ីតកម្ម anodic រលាយ។ ដោយសារតែលក្ខខណ្ឌផ្សេងៗគ្នាសម្រាប់ការបង្កើតភាពយន្តនិងបរិញ្ញាបត្ររងនៃការបង្កើតមីក្រូទស្សន៍ផ្ទៃខាងលើនិងការរំលាយនៃ anode ការប្រមូលផ្តុំអំបិលដែកនៅក្នុងតំបន់ Anode នៅតែបន្តកើនឡើងបង្កើតជាថ្នាំផ្សងដែលមានភាពធន់ទ្រាំខ្ពស់នៅលើផ្ទៃ។ ភាពខុសគ្នានៃកម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តនៅប៉ោងនិងផ្នែកខ្លះនៃផ្នែកដែលមានអាំងតង់ស៊ីតេបច្ចុប្បន្ននៃការរលាយផ្ទៃអេឡិចត្រូនិចនិងក្នុងរយៈពេលដ៏ខ្លីលើសគោលដៅនៃសេដ្ឋកិច្ចខាងក្រៅនិងអាចលើសពីភាពរលូនខ្ពស់Ra≤0.2-0.4μm។ ហើយនៅក្រោមឥទ្ធិពលប្រភេទនេះមាតិកាទឹកក្រូមីញ៉ូមនៃផ្ទៃបំពង់ត្រូវបានកើនឡើងហើយសមត្ថភាពប្រឆាំងនឹងច្រេះរបស់ស្រទាប់អណ្តាតភ្លើងដែកអ៊ីណុកត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង។
វិធីស្វែងយល់ពីគុណភាពនៃការខាត់ស្បែកគួរតែទាក់ទងនឹងរូបមន្តអាថ៌កំបាំងនៃអេឡិចត្រូនិកអាគុយ, តម្លៃនៃការផ្តោតអារម្មណ៍, សីតុណ្ហាភាព, អាំងតង់ស៊ីតេបច្ចុប្បន្ននិងកម្រិតនៃការព្យាបាលផ្ទៃដីនៃបំពង់។ ការខកខានមិនបានធ្វើជាម្ចាស់នៃបច្ចេកវិទ្យានេះពិតជាបំផ្លាញភាពរលោងនៃផ្ទៃបំពង់។ ប្រសិនបើវិធីសាស្រ្តអេឡិចត្រូលីតក៏មានកំរិតដែរវានឹងមានប៉ោងប៉ោងនិងផ្ទៃមួយដែលមានរាងច្រើនហើយសូម្បីតែបំពង់នីមួយៗក៏ត្រូវគិតថ្លៃច្រើនដែរ។ គុណភាពពិតប្រាកដត្រូវតែមានបច្ចេកទេសហើយការចំណាយគឺខ្ពស់។
2 ។ ការកិននិងប៉ូលានៃផ្ទៃខាងក្រៅនៃបំពង់: កិននិងប៉ូលាជាមួយនឹងការបង្វិលនិងបន្ទាត់ស្របគ្នា។ នៅទីនេះការកិនមេកានិចនៃការបង្វិលជាឧទាហរណ៍ឧបករណ៍កិនមេកានិចមានលក្ខណៈសាមញ្ញជាងអំណាចនិងឌីសកិននិងឧបករណ៍កិនកម្រិតខ្ពស់មានលក្ខណៈសាមញ្ញអំណាចនិងក្រមួនកិននិងក្រមួនកិនកម្រិតខ្ពស់និងក្រមួនកិនជឿនលឿននិងក្រមួនកិនកម្រិតខ្ពស់។ ឌីសក្រណាត់និងឌីសសណ្តែកធ្វើពីបំណះខ្សាច់ល្អ ៗ ត្រូវបានប៉ូលាត្រឡប់មកវិញនិងនៅខាងក្នុងនិងផ្ទៃខាងក្រៅនៃបំពង់ជាច្រើនដងហើយការបញ្ចប់អាចឈានដល់ RA ≤0.2-0.4μម៉ែត្រ
បើប្រៀបធៀបជាមួយការកិនអេឡិចត្រូលីតការកិនមេកានិចត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយដោយសារតែឧបករណ៍សាមញ្ញមាតិកាបច្ចេកទេសទាបការយល់ដឹងងាយថ្លៃប្រើប្រាស់ទាបនិងគ្មានការខូចខាតបំពង់។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយភាពធន់ទ្រាំដែលច្រេះនៃស្រទាប់បោះពុម្ពផ្ទៃគឺល្អប្រសើរជាងអេឡិចត្រូនិច។
គុណវិបត្តិធំនៃបំពង់ដែលក្រឡុកត្រជាក់គឺជាស្ថានភាពលំបាកដែលសន្ទស្សន៍ទិន្នផលគឺធំណាស់ហើយវាមិនសមស្របសម្រាប់ការឆាបឆេះនិងពត់កោង។ និយាយយ៉ាងតឹងរ៉ឹងវាមិនត្រូវតាមស្តង់ដារឧស្សាហកម្មជាតិដូច្នេះកំដៅ (quenchings) ត្រូវតែអនុវត្ត។
ឡចំហាយ Annealing ប្រាយការពារឧស្ម័ន: មានពីរផ្នែកគឺតួឯកក្នុងឡចំហាយខាងក្នុងដ៏ភ្លឺស្វាងនិងមានឧបករណ៍រលួយអាម៉ូញូមពេញ។
ឡចំហាយខាងក្នុងប្រាយ: រចនាសម្ព័នសំខាន់មានមែកឈើដែលមានរាងដូចចិញ្ចៀនហើយវិធីកំដៅដែលមានខ្សែភ្លើងកំដៅខ្ពស់ដែលបានរៀបចំនៅលើភាគីទាំងសងខាងនិងបាតចុងខាងក្រោម។ អាម៉ូញាក់រំលាយឧស្ម័នហ្គាសត្រូវបានប្រើជាចំហាយទឹកចំហាយនិងការផ្ទុកប្រព័ន្ធប្រព័ន្ធឧស្ម័នត្រជាក់ទឹក។ បំពង់ដែលទទួលរងនូវវិធីសាស្ត្រព្យាបាលកំដៅនេះមិនចាំបាច់ pickled និង eassivated ដែលធានាបាននូវភាពរលូននៃស្រទាប់ផ្ទៃខាងក្នុងនិងខាងក្រៅនិងចៀសវាងភាពមិនស្មើគ្នានៃផ្ទៃបំពង់ដែលបណ្តាលមកពីការជ្រើសរើស។ ដោយសារតែភាពមិនប្រក្រតីបន្តិចបន្តួចទាំងនេះនឹងធ្វើឱ្យបំពង់ធ្លាក់ចុះយ៉ាងខ្លីនៃលក្ខណៈរលូននៃផ្ទៃរលោងនៃបំពង់អនាម័យបរិស្ថាន។ ដូច្នេះជ្រើសរើសយកឡចំហាយខាងក្នុងដែលមានបរិយាកាសការពារ។ របស់ហាក់ដាវតិច ចង្រ្កានដំណោះស្រាយខ្ពង់រាបហ្គាសប្រណិត បំពេញតាមតម្រូវការរបស់អ្នកមិនត្រឹមតែមានដំណើរការខ្យល់ខ្ពស់ជាងនេះប៉ុណ្ណោះទេប៉ុន្តែថែមទាំងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់និងសន្សំថាមពលផងដែរ។ បើប្រៀបធៀបជាមួយប្រភេទឧបករណ៍ដូចគ្នាវាអាចសន្សំសំចៃថាមពលបានប្រហែល 20% -30% នៃការប្រើប្រាស់ថាមពល។